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微機(jī)電系統(tǒng)中常用哪些類型的傳感器

提問者:網(wǎng)友 2018-08-27
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微機(jī)電系統(tǒng)中的傳感器主要指機(jī)械式傳感器。包括: 微加速度傳感器,微壓力傳感器,微角速度傳感器(微陀螺儀),微聲壓傳感器(微麥克風(fēng)), 微懸臂梁式生化傳感器(包括靜態(tài)式,諧振式)(原理:生化反應(yīng)引起表面應(yīng)力變化及附加質(zhì)量效應(yīng),從而導(dǎo)致微懸臂梁的靜態(tài)變形和諧振頻率變化) 濕度傳感器,溫度傳感器,磁場傳感器等
回答者:網(wǎng)友
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